什么是版图?集成电路版图设计的资料详解.rar
什么是版图?根据逻辑与电路功能和性能要求以及工艺水平要求来设计光刻用的掩膜版图,实现IC设计的最终输出。 版图是一组相互套合的图形,各层版图相应于不同的工艺步骤,每一层版图用不同的图案来表示。版图与所采用的制备工艺紧密相关。 版图设计就是按照线路的要求和一定的工艺参数,设计出元件的图形并进行排列互连,以设计出一套供IC制造工艺中使用的光刻掩膜版的图形,称为版图或工艺复合图。 版图设计是制造IC的基本条件,版图设计是否合理对成品率、电路性能、可靠性影响很大,版图设计错了,就一个电路也做不出来。若设计不合理,则电路性能和成品率将受到很大影响。版图设计必须与线路设计、工艺设计、工艺水平适应。版图
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