论文研究MEMS气体传感器微热盘建模与仿真 .pdf

这是硕士学位论文，主要研究基于武器弹药系统高过载侵彻过程的引信用MEMS加速度传感器，主要技术指标有量程150000g；扛过载200000g。

随着智能移动终端、智能穿戴设备以及基于惯性传感器的行人定位导航系统的快速发展，针对这些设备和系统中的计步需求，大量有关基于MEMS加速度传感器的步数检测算法的研究工作已经开展并取得了优秀的成果。针对该

随着Internet上维吾尔文信息的迅速发展，维吾尔文文本分类成为处理和组织这些大量文本数据的关键技术。研究维吾尔文文本分类相关技术和方法，针对维吾尔文文本在向量空间模型（VSM）表示下的高维性，采用

MEMS压力传感器可以用类似集成电路(IC)设计技术和制造工艺,进行高精度、低成本的大批量生产,从而为消费电子和工业过程控制产品用低廉的成本大量使用MEMS传感器打开方便之门,使压力控制变得简单易用和

MEMS是在集成电路生产技术和专用的微机电加工方法的基础上蓬勃发展起来的高新科技,其研究开发主要集中在微传感器、微执行器和微系统三个方面,目前主导MEMS市场的传感器已形成产业。用此技术研制的五花八门

MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。它具有体积小、质量轻、成本低、功耗低、可靠性高、技术附加值高，适于批量化生产、易于集成和实现智能化等特点。

MEMS传感器弥补GPS的不足MEMS传感器弥补GPS的不足精密导航功能通常易与汽车、飞机、船舶联系在一起，但事实上，在工业和医疗领域，导航功能同样得到广泛应用，从工厂机械和手术机器人到应急响应跟踪。

作者:BOB SCANNELL运动信息不仅能改善性能,而且能提高可靠性、安全性并降低成本。最近的传感器技术发展使得机器人和其他工业系统设计实现了革命性的进步。除了机器人以外,惯性传感器有可能改善其系统

MEMS传感器调查报告，及其相关的描述.

MEMS硅梁谐振式传感器