单晶碳化硅晶片半固着磨粒柔性抛光工艺研究,罗求发,陆静,针对游离磨料加工单晶碳化硅晶片中存在的加工效率低、磨料易团聚、抛光废液污染环境等突出问题,提出采用磨料半固着的柔性抛光工