分离电极高光束质量垂直腔面发射激光器锁相阵列,潘冠中,徐晨,质子注入型面发射激光器相干耦合阵列能够实现同相模式的激射,但是由于制作过程中的工艺不均匀性引起单元间的相位差的存在,影响