基于微纳结构电极的超级电容器研究,王晓峰,尤政,微型超级电容器是一种基于MEMS微加工工艺和电化学赝电容原理的微型储能器件。通过光刻、感应耦合等离子体刻蚀(ICP)和溅射等MEMS微�