Zn源流量对MOCVD方法生长氧化镓薄膜特性的影响,徐梦想,夏晓川,本文利用金属有机物化学气相沉积方法,以三乙基镓为镓源,二乙基锌作为掺杂锌源,高纯氧气作为氧源,高纯氩气作为载气,在锌源流��