Smart sensors and MEMS 2014

MEMS器件设计团队在开始每项设计前,以及贯穿在整个设计流程中都必须对封装策略和如何折中进行考虑和给与极大的关注。许多MEMS产品供应商都会把产品封装作为进行市场竞争的主要产品差异和竞争优势。本文讲述

什么是MEMS? 微机电系统(MEMS),在欧洲也被称为微系统技术,或在日本被称为微机械,是一类器件,其特点是尺寸很小,制造方式特殊。MEMS器件的特征长度从1毫米到1微米—1微米可是要比人们头发

关于mems 微机电技术的top1000的专利 pdf打包,共3个包 MEMS传感器芯片 Methods and systems for detecting and resolving failure

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介绍了MEMS微镜的行程饱和现象产生的基本原因、危害和消除方法。内容详细。

MEMS标准工艺的详细介绍，对初学者很有帮助

光开关是光通信网络的重要功能器件,MEMS光开关是最具发展前景的光开关之一。在简介不同种类光开关原理特点的基础上,详细分析了当前主要的MEMS光开关的分类、结构、工艺与性能特点,并给出这一领域的研究与

传统的表面微机械系统,首先在衬底上面生长或淀积一层牺牲层(如磷硅玻璃),然后再淀积一层多晶硅材料,最后通过化学方法腐蚀掉中间的牺牲层,在多晶硅和衬底之间形成了一个空隙或空腔,如图1.16所示。但是,表

一本介绍MEMS微电源技术的很好的资料。