利用衬底温度调控AZO透明导电薄膜的光电性能,孙秀英,李福山,掺铝氧化锌(AZO)具有环境友好、储量丰富以及光电性能优越等优点,目前成为透明导电领域的研究热点。本文采用射频磁控溅射技术制