MEMS（Micro-Electro-MechanicalSystems， 微机电系统）是指将微型机械、微型执行器、信 号处理和控制电路等集于一体的可批量制作的微型 器件或系统。而MOEMS是Micro-Opto-Electro- MechanicalSystem的缩写，意为微光机电系统， 把微光学应用到微机电系统中，这是MEMS在光通 信中的重要应用。微光电机械芯片通常是指包含一 个以上微机械元件的光系统或光电子系统，其应用 将遍及光通信、光显示、数据存储、自适应光学 及光学传感等多个方面。