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MEMS（Micro-Electro-MechanicalSystems， 微机电系统）是指将微型机械、微型执行器、信 号处理和控制电路等集于一体的可批量制作的微型 器件或系统。而MOEMS是Micro-Opto-Electro- MechanicalSystem的缩写，意为微光机电系统， 把微光学

MEMS（Micro-Electro-MechanicalSystems， 微机电系统）是指将微型机械、微型执行器、信 号处理和控制电路等集于一体的可批量制作的微型 器件或系统。而MOEMS是Micro-Opto-Electro- MechanicalSystem的缩写，意为微光机电系统， 把微光学