镓掺杂氧化锌透明导电薄膜的制备,迟景阳,李雪,本文采用MOCVD方法制备出了Ga掺杂的氧化锌透明导电薄膜,系统研究了氧气流量对样品的结构、电学性质及透过率的影响,发现在合适的�