硅烷流量对电弧离子镀TiSiN涂层结构和性能的影响,杨兵,田灿鑫,在硅烷气氛中采用电弧离子镀技术制备TiSiN复合涂层。系统研究了硅烷流量对涂层结构和性能的影响。采用透射电子显微镜分析涂层结构�