基于新型MEMS三轴加速度传感器的矿震监测系统研究,李朋勃,苏维嘉,微机电系统是指融合了硅微加工,光刻成型和精度机械加工等多种微加工技术制作的微传感器、微执行器和微系统。MMA7260Q是飞思卡尔推�