微光刻与微_纳米加工技术

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本书涉及复杂形状数控加工的各个方面，包括复杂形状零件的几何建模、数控加工工艺、刀具轨迹计算、数控加工仿真、后置处理等。作者周济为工程院院士

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介绍了一种全新的基于飞秒激光局域场加强效应的纳米加工技术,通过使用了微焦级别脉宽为130 fs、波长800 nm的飞秒激光照射于原子力显微镜的探针针尖,利用其局域场加强效应在金薄膜表面加工出各种纳米图

随着激光技术的发展,激光器件向着超短脉冲、超高强度、超短波长的方向迈进,这给激光材料加工带来了革命性的进步。近年来超短脉冲激光精密加工越来越得到人们的关注。这主要体现在超短脉冲激光加工可以得到高于长脉

利用准分子激光微加工技术与模塑技术相结合的方法制造微流控芯片。用准分子激光在玻璃基胶层上刻蚀出加工质量较高的微流控生物芯片形貌,通过电铸技术对微流控芯片进行复制,得到反向金属模具。用金属模具通过注塑成