DIO3代替SPM药液在LDDloop工艺中应用的研究,徐佳,王英,本文探讨了40纳米逻辑产品中DIO3在LDDloop代替SPM在离子注入后的清洗工艺中的应用研究,文中主要阐述了DIO3代替SPM对现有以及未来更先��