应变SiGeSOIp-MOSFET温度特性研究,高勇,刘静,SiGeSOIp-MOSFET在高频、高速、低功耗、抗辐射方面具有极大的优势。但二氧化硅埋层较低的热导率以及SiGe材料较低的热稳定性,使得器件