非晶碳薄膜/硅异质结的气体压强敏感性,高熙礼,章晓中,用脉冲激光沉积的方法将非晶碳薄膜沉积到n型硅衬底上得到非晶碳薄膜/硅异质结。结果显示,该异质结在140-300 K的温度区间内具有良好�