MEMS是Micro Electro Mechanical Systems的英文缩写，也叫微电子机械系统。它的出现可追溯到19世纪。20世纪60年代美国人首先研发出了结晶异方向腐蚀、阳极键合等早期的基本微加工技术。到了70年代，也是美国人提出了基于硅半导体的所谓微机械的设想。伴随着半导体加工技术的不断进步，人们开始利用微加工技术制造出各种微小尺寸的机械零部件。