玻璃毛细管阵列对5-43nm高次谐波的抑制,蒋新亭,,利用光谱辐射标准和计量光束线(U27)的球面光栅单色器(SGM)分支产生的极紫外(EUV)和软X射线、Si3N4/Mo/Si/Mo/Si多层膜滤片(100/50/150/1