氢氟酸乙二醇混合溶液在STI横向刻蚀工艺中的应用,李阳柏,程秀兰,本文介绍了横向刻蚀工艺在STI工艺中的作用,氢氟酸乙二醇混合溶液在STI横向刻蚀工艺中的应用。并研究了氢氟酸乙二醇混合溶液中氢氟