基于硅基Mach-Zehnder光开关的异或/同或门,陈伟伟,张亚伟,光逻辑器件是实现高效数据交换与处理的关键器件。本文利用硅基载流子色散效应,采用级联基于pin电学结构的马赫曾德(Mach-Zehnder,MZ)