杂化二氧化硅耐磨疏水薄膜的气相沉积法制备,鲍晓冰,耿蒙蒙,以廉价的正硅酸乙酯(TEOS)和六甲基二硅氮烷(HMDS)为原料,利用气相沉积法经过酸碱不同条件下的催化水解在玻璃基底上一步法制备�