多层结构紫外透明导电薄膜的制备及性能研究,曹文旭,夏晓川,本文采用射频反应磁控溅射的方法制备了氧化物-银-氧化物紫外透明导电薄膜。其中氧化物薄膜是在氩气与氧气的混合气体中溅射GaAs靶制