热退火对Cu掺杂Ga2O3晶体质量和光学特性的实验研究,王博,梁红伟,利用电子束蒸发技术在c面蓝宝石上生长Cu掺杂β-Ga2O3薄膜,并在不同温度下进行退火处理,经过X射线衍射分析得出在900℃下退火形成的薄