压印光刻中压印力与留膜厚保值度的研究,尹磊,丁玉成,针对压印光刻(IL)工艺实现图章保真复型对阻蚀胶残留膜的厚度和均匀度的要求,对压印固化过程中压印力与残留膜厚度以及残留膜在�