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集成电路制造技术——原理与工艺---第五章扩散 5.1扩散机构 5.2晶体中扩散的基本特点与宏观动力学方程 5.3杂质的扩散掺杂 5.4热扩散工艺中影响杂质分布的其它因素 5.5扩散工艺条件与方法 5

针对某矿井底车场开拓巷道与硐室短时间内变形破坏严重的现象,在理论分析高压注浆加固破碎围岩技术及注浆材料性能的基础上,提出了符合实际情况的注浆加固方案,对治理类似巷道破碎围岩有一定的借鉴意义。

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