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在先进工艺节点中,要实现最佳性能和良率,需要超越设计规则的最低要求来优化版图。任何多重曝光版图都有多种能通过多重曝光设计规则检查 (DRC) 的着色配置。但是,选择最佳着色方案可以提高制造良率和设计性
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