滨松MEMS法布里 珀罗干涉光谱传感器技术资料.pdf

通过在单模光纤后依次熔接一段大芯径空芯光纤和一段小芯径空芯光纤,制作了一种由小芯径空芯光纤形成环形反射面的全光纤法珀腔。由于这种环形反射面结构的中间通孔适合气体或低粘度液体进出,因此可将其应用于气体或

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硅直接键合技术广泛应用于压力传感器和加速度计,是一种制备密封腔的重要的工艺手段。硅-硅直接键合技术制备压力传感器具有很大的优势:成本低,应力小,性能高,可以大规模生产。压力传感器分为两种,一种是基于压

MEMS惯性技术迎来了一个崭新的振动监控时代,并为此类仪器仪表赢得了更广泛的用户群体。 性能、封装和熟悉度可能有利于压电技术继续发挥作用,但显然振动监控正在发展和进步。

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