微细电火花加工的磁悬浮主轴位置检测与控制,郭永丰,凌泽斌,针对传统机床的微细电火花加工中机床主轴伺服响应慢,频繁出现短路和拉弧放电的不足,提出并设计了一种基于磁悬浮主轴的微细电火