集群磁流变效应与聚氨酯垫复合研抛加工过程研究

集群磁流变效应与聚氨酯垫复合研抛加工过程研究，李敏，阎秋生，采用集群磁流变效应与聚氨酯垫复合研抛加工方法对单晶硅和SrTiO3陶瓷基片进行研抛加工，并研究了磁场强度大小、加工时间、研抛盘转