集群磁流变效应与聚氨酯垫复合研抛加工过程研究,李敏,阎秋生,采用集群磁流变效应与聚氨酯垫复合研抛加工方法对单晶硅和SrTiO3陶瓷基片进行研抛加工,并研究了磁场强度大小、加工时间、研抛盘转