在本文中，报道了对多层类金刚石碳和氮化硼（DLC / BN）膜进行研究获得的结果。 使用透射电子显微镜，螺旋钻电子显微镜，纳米压痕测量和圆盘摩擦试验表征了薄膜的微观结构，原子浓度，硬度和摩擦系数。 研究了双层厚度和衬底偏压对膜生长的影响。 除了在没有衬底偏压的情况下沉积的多层DLC / BN膜的2和4纳米双层外，所有多层膜均显示出交替的DLC和BN层。 尽管这些层非常薄，但每个层都是可区分的。 通过使用TEM成像和AES测量证实了这一点。 所有多层膜的硬度值均低于单层DLC和BN膜的硬度值。 然而，硬度可以随着双层厚度的变化而改变。 此外，在沉积有衬底偏压的膜的情况下，与单层DLC和BN膜相比