我们通过使用溶胶和凝胶旋涂法在铜和镓源，铜和镓硝酸盐或乙酰丙酮的两种组合中使用溶胶-凝胶旋涂法在SiO2基板上制备CuGaO2薄膜。 X射线衍射分析表明，使用硝酸溶胶制备的薄膜在850°C-950°C的温度下退火，显示出c轴取向峰（006）和非c轴取向峰（012）具有相似强度； 信号强度对退火温度的依赖性也很小。 在这些退火温度下，膜的外观是不透明的。 扫描电子显微镜观察表明，不透明的外观是由于膜表面上的纹理或裂纹所致。 相反，使用乙酰丙酮化物制备的膜显示具有比（012）峰更高的信号强度的（006）峰。 该膜显示出比硝酸盐膜更透明的外观。 膜的最高电导率为5.7×10-4Ω-1·cm-1，是通