超薄类金刚石膜的结构和生长特性研究,钟敏,张晨辉,采用磁过滤阴极真空弧(FCVA)方法制备了1~20nm的超薄类金刚石(DLC)膜,用原子力显微镜(AFM)对其表面形貌进行观察,并用透射电子