基于多孔硅微腔微阵列的制备及检测,陈位荣,贾振红,我们结合光刻和电化学腐蚀方法,成功在单晶硅衬底上制备出一个8*8的一维多孔硅光子晶体微腔的微阵列器件,微阵列的每个阵列单元直