非球面非零位横向剪切干涉检测方法研究

张德达 6 0 PDF 2020-07-22 10:07:09

非球面非零位横向剪切干涉检测方法研究,王起维,孙涛,非球面检测一直以来是该领域的研究热点和难点。普通干涉仪零位检测获得的干涉图代表的是被测波前的误差,而非球面零位检测需要零

非球面非零位横向剪切干涉检测方法研究

用户评论
请输入评论内容
评分:
暂无评论