平面光波导分路器对准耦合实验

bboypeng 12 0 PDF 2020-07-22 16:07:41

平面光波导分路器对准耦合实验，郑煜，季佳宇，平面光波导器件对准耦合是阵列波导器件封装的关键，对准耦合的品质优劣决定最终成品器件功能实现与否。针对平面光波导器件对准耦