氧刻蚀超薄碳膜在硬盘保护中的应用 ,薛沛东,杨雷,本文采用电子回旋共振技术(ECR)溅射沉积超薄碳保护膜,并在沉积过程后,分别使用氩离子和氧离子对碳膜进行刻蚀后处理,为实现硬