静电微泵致动特性及其尺寸效应分析,刘迎伟,刘凯,分析静电吸合现象,给出吸合电压的计算公式,以圆形泵膜为例,研究吸合电压的尺寸效应及泵膜几何尺寸对吸合电压的影响,得到静电