三氯氢硅湿法洗涤工艺应用效果分析

介绍了湿法洗涤工艺在三氯氢硅生产中的应用效果,对设备的选型、工艺参数确定、操作工艺进行了分析,通过增加洗涤工艺,可有效去除金属氯化物和细微硅粉,解决一级冷凝器频繁堵塞、操作环境恶劣、不能连续生产等问题,实现了安全生产,清洁生产。