溶胶凝胶法SnO2薄膜复合掺杂的研究,王灵伟,靳正国,本文通过Sol-Gel法制备了透明导电SnO2薄膜,探讨Sb-Mo,Sb-F等复合掺杂对SnO2薄膜晶粒生长,透光性能和导电性能的影响,应用XPS、XRD、TEM、