不同退火温度下晶化硅薄膜的电学输运性质,宋超,陈谷然,采用等离子体化学气相沉积技术制备氢化非晶硅薄膜,经过不同温度下的热退火处理,使薄膜由非晶结构向晶化结构转变,得到含有纳米