沉积温度对非晶碳薄膜结构影响的研究,章晓中,万蔡华,铁掺杂的非晶碳薄膜用脉冲激光沉积技术沉积于硅衬底之上。针对这种异质结的电流电压测试显示异质结势垒高度在300摄氏度以下逐渐减