有潜在问题的芯片在正常的条件下缺陷不会显现出来,但是在一定的条件下会产
者间歇性失效,从而造成芯片早期失效的质量问题。最小电压是芯片正常运行所需
电压值,合格芯片与不合格芯片的最小电压值是不一样的,因此利用最小电压检测
检测出有潜在缺陷的芯片。
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生长一层薄氧化层 淀积一层氮化硅 光刻场隔离区,非隔离区被光刻胶保护起来 反应离子刻蚀氮化硅 场区离子注入 热生长厚的场氧化层 去掉氮化硅层、薄氧化层
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