铁电薄膜材料的制备工艺及应用研究,李甜,康爱国,近年来,随着薄膜制备工艺的不断突破以及微电子、光电子、微电子机械等对铁电材料小型化、薄膜化、集成化的要求,铁电薄膜材料已