一种磁性薄膜/石英音叉复合磁传感器研究,曾婕,文玉梅,针对磁电层合式磁传感器Q值低的问题,提出一种磁性薄膜与石英音叉复合的磁传感器结构,通过检测音叉谐振频率变化量或Q值变化量,�