激光测量技术在超精密加工领域应用现状,张传兵,张锋伟,激光测量技术以其易产生、易操控、高功率、高测量精度及激光波长覆盖几乎红外到 极紫外波段,脉冲宽度甚至能减小到几个光周期的�