针对半导体设备工厂自动化的设备数据采集需求,给出了一种基于Interface A标准的 》通信方法,该方法构造了设备的通用模型,设计了设备通信的安全认证和授权机制,并给出了采集设备 2实时数据的方法,可满足工厂自动化系统对半导体设备的数据采集和设备控制需求。