微电子与微机械(MEMS)技术的发展,使现代传感器设计向微型化、智能化、集成化、微低功耗方向发展。MEMS技术突破了传统传感器设计受质量、体积、功耗等技术瓶颈的束缚,在各测量领域有着非常广泛的应用。