双光束双波长激光干涉(DD I) 法采用自行设计的可调双波长氦氖激光器作光源, 可在同一 光路中通过两次测量获得薄膜样品两个波长(01633 Lm, 3139 Lm ) 下的光学常数, 即折射率、消光 系数和厚度。论述了测量原理、测量装置和测量结果。