微放电是在真空条件下,发生在微波器件内部的射频击穿现象。近年来,随着空间技术的发展,微波部件工作的功率越来越大,使得空间发生微放电的可能性大大增加。工作在大功率状态下的微波器件,当功率、射频和器件内部结构尺寸满足一定关系时发生微放电效应,这种现象的产生又取决于真空压力、加工工艺、表面处理、材料、污染等因素。微放电一旦产生将造成严重后果,导致微波传输系统驻波比增大,反射功率增加,噪声电平抬高,致使系统不能正常工作。高电平微放电可以引起击穿,射频功率全反射,部件永久性破坏,通信信道丧失工作能力。基于微放电发生会产生严重影响,而且微放电产生机理复杂,至今还没有完全掌握;同时,实际中制作工艺与工艺缺陷